Vỏ bằng thạch anh dành cho đèn hồng ngoại công nghiệp
Trong quá trình nung chảy chất phủ quang học, chỉ cần có sự lệch lạc 0,5 độ thôi cũng đủ khiến toàn bộ sản phẩm bị hỏng. Người ta sử dụng tia hồng...
Quy trình nung bằng tia hồng ngoại
Trong khu vực xử lý bằng phương pháp lithography, buồng xử lý bằng nhiệt đóng vai trò quan trọng trong việc kiểm soát nhiệt độ cần thiết để loại bỏ...
Đèn hồng ngoại dùng để xử lý bán dẫn
Trong quy trình sản xuất, sự biến đổi về nhiệt độ là điều không thể chấp nhận được. Sự thay đổi về nhiệt độ trong quá trình nung ướt hoặc nung khô,...
Máy làm sạch và sấy khô giá đỡ wafer
Trên dây chuyền sản xuất, các khay chứa wafer sau khi được xử lý bằng phương pháp làm khô ướt sẽ không thể mang theo hơi ẩm vào khu vực in ấn. Các...
Máy sấy FOUP (Front Opening Unified Pod)
Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, mọi thứ đều diễn ra theo một trình tự nhất định: các FOUP sau khi được làm sạch sẽ được đưa vào...
Thành phần gia nhiệt dùng để oxy hóa wafer
Trong quá trình oxy hóa, sự thay đổi nhiệt độ không chỉ được thể hiện qua các con số trên biểu đồ mà còn ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản phẩm....
Khắc phục sự cố với bộ sưởi trong hệ thống RTP
Trong quy trình sản xuất, sự cố xảy ra với bộ sưởi RTP không được phát hiện một cách rõ ràng. Những sự cố này thể hiện qua sự biến đổi trong quá...
Bộ sưởi CVD (Phương pháp lắng đọng hơi hóa học)
Trong khu vực sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ trong buồng xử lý sẽ dẫn đến sự không đồng đều về độ dày của lớp vật liệu được tạo ra, từ đó gây giảm...
Gia công khô hồng ngoại cho keo bán dẫn
Trên sàn sản xuất hoạt động 24/7, bạn không có thời gian để giám sát quá trình đóng rắn keo. Một lần nhiệt độ vượt ngưỡng, một chu trình nung không...
Cảm biến IR chính xác cho wafer
Trên dây chuyền Wafer 300 mm không thể để xảy ra sự trôi dạt trong quá trình nướng mềm và nướng cứng. Một điểm nóng 2°C trên toàn bộ mặt sẽ làm thay...
Bếp nhiệt độ chính xác cao
Trên sàn sản xuất, các biến động nhiệt không xuất hiện với cảnh báo - chúng xuất hiện dưới dạng giảm năng suất. Một độ trôi 0.5°C trong quá trình...
Bộ phận gia nhiệt phụ tùng máy móc bán dẫn
Trên sàn sản xuất, các bước nướng photoresist không cho phép sai số nhiệt độ. Một lần nướng mềm ở 90°C mà dao động ±2°C? Điều đó làm phồng hồ sơ...
Đèn sưởi bán dẫn có thể điều chỉnh độ sáng
Trên sàn sản xuất, sự trôi nhiệt không phải là vấn đề tranh luận—nó được đo lường đến phần mười độ. Đẩy nhiệt độ soft bake lên cao hơn dù chỉ một...