Tối ưu hóa mật độ năng lượng bức xạ trong các thiết bị sưởi trong buồng kiểm tra nhờ việc sử dụng các tấm phản xạ được phủ vàng
Hãy ngừng lãng phí năng lượng: Cách tốt hơn để làm nóng các tấm wafer Nếu bạn từng sử dụng phương pháp làm nóng wafer bên trong buồng kiểm soát môi...
Thành phần gia nhiệt dùng để oxy hóa wafer
Trong quá trình oxy hóa, sự thay đổi nhiệt độ không chỉ được thể hiện qua các con số trên biểu đồ mà còn ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản phẩm....