Ihren Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber halten
Wenn man in einer Reinraumumgebung der Klasse 100 arbeitet, rückt die „Effizienz“ in den Hintergrund. Das Einzige, was wirklich wichtig ist, ist die Kontrolle der Partikelkonzentration.
Das Problem ist, dass die meisten herkömmlichen IR-Lampen ziemlich unsauber sind. Sie geben Gase ab oder stoßen kleine Stücke von deren Dichtungen und Endkappen ab. Das ist zwar unsichtbar, aber es passiert trotzdem. Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir hochreinen Quarztuben in Kombination mit speziellen keramischen Endkappen.
Warum die Materialien wichtig sind
Die meisten IR-Emitter nutzen zur Verbindung der Tubenenden Klebstoffe oder billigen Kunststoffe. In einer Hochtemperatur-Reinraumumgebung oder im Vakuum zerfallen diese Materialien. Dadurch entstehen Kontaminationen auf den Wafern. Wir verwenden stattdessen hochreinen synthetischen Quarz. Dieser widersteht thermischen Belastungen sowie chemischer Einflüsse.
Das eigentliche Geheimnis liegt jedoch in den keramischen Endkappen. Wir verwenden Keramiken mit hohem Aluminiumanteil – ohne jegliche metallische Bindemittel. Dadurch wird das lästige „Stauben“ vermieden, das bei billigeren Lampen auftritt. Zudem werden keine organischen Stoffe freigesetzt, wenn die Temperatur erhöht wird.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Diese Emiter erzeugen einen sehr starken Wärmestrom. Deshalb müssen die Befestigungsarmaturen genau an ihrem Platz sein. Wenn die Tube auch nur wenige Millimeter verschoben wird, entsteht an der Arbeitsfläche ein heißer Punkt. Es handelt sich dabei um eine strenge Toleranzanforderung – doch sie ist notwendig.
Ein weiterer Tipp bezüglich der Stromversorgung: Hochreiner Quarz dehnt sich auf eine bestimmte Weise aus. Wenn man den Strom zu schnell einschaltet, wird die Verbindung zwischen Keramik und Quarz belastet. Man sollte also langsam vorgehen. Ihre Dichtungen werden es Ihnen danken.
In Betrieb nehmen
Wir haben diese Emiter so konstruiert, dass sie als Ersatz für bestehende Lampen verwendet werden können. Man muss sie einfach in die vorhandenen Steuereinheiten anschließen – dann kann man sofort mit der Nutzung der Kurzwellenemission beginnen.
Da wir alle Störstoffe entfernt haben, die zu Kontaminationen führen könnten, werden Sie bei den Oberflächenkontrollen deutlich weniger Partikel feststellen. Das bedeutet weniger Zeit für das Reinigen und mehr Zeit für die eigentliche Produktion. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlventilatoren ausreichend leistungsstark sind, um die von den keramischen Endkappen ausgehende Wärme zu bewältigen.