در کارخانه تولید، هرگونه تغییر در دمای محفظه، به سرعت منجر به عدم یکنواختی ضخامت لایههای روی ویفرها و کاهش بازدهی تولید میشود. نمیتوان این مشکلات را پس از وقوع آنها برطرف کرد؛ بنابراین، هیتر باید شرایط حرارتی را از ابتدا تا انتهای فرآیند، ثابت نگه دارد.
چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارد؟
ما هیتر CVD را با استفاده از عناصر هالوژنی با طول موج کوتاه در پشت پنجرههای کوارتزی ساختیم. گرما مستقیماً به سمت سطح ویفر منتقل میشود و یکنواختی دمایی در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود. الگوی حرارتی در هر چرخه تکرار میشود؛ بنابراین شرایط حرارتی ثابت باقی میماند.
این هیتر سازگار با اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، مواد و ساختار آن به گونهای انتخاب شدهاند که تولید ذرات ناخواسته تا حد امکان کاهش یابد. در عمل، این امر به معنای کاهش آلودگیها و نقصهای موجود در محصولات تولید شده است.
چرا این هیتر در فرآیندهای واقعی موفق عمل میکند؟
این هیتر در مراحلی که صحت عملکرد دستگاه مهم است، نقش مهمی ایفا میکند. در فرآیندهای خشک کردن ویفرها و پردازش فوتورزیست، این هیتر گرمای یکنواختی لازم برای فرآیندهای مربوطه را فراهم میکند؛ همچنین، کنترل خوبی بر روی حذف حلالها دارد.
در فرآیند CVD، این هیتر دمای لازم برای تشکیل لایهها را ثابت نگه میدارد؛ بنابراین، ضخامت و ترکیب لایهها در محدوده کنترلی باقی میماند. این امر منجر به کاهش ضایعات و نیاز به تولید مجدد محصولات میشود. در نتیجه، کنترل دقیقتر بر ابعاد مهم محصولات، بازدهی بالاتر و مصرف انرژی کمتری حاصل میشود.
جزئیاتی که باعث عملکرد خوب این هیتر میشوند:
نصب این هیتر به موارد مربوط به رابطهای حرارتی و مسیر جریان گاز بستگی دارد؛ اگر این موارد به درستی انجام نشوند، ممکن است نقاط گرم موضعی یا آلودگیهای ناخواسته ایجاد شود.
این هیتر زمانی بهترین عملکرد را دارد که هندسه محفظه و سیستم حمل و نقل ویفرها با الگوی تابشی هیتر هماهنگ باشد؛ در غیر این صورت، اختلافاتی در دمای لایههای روی ویفرها ایجاد میشود.
بهتر است یک آزمایش کوتاه انجام دهید تا دمای سطح ویفرها مشخص شود و نقاط کنترلی مربوطه بر اساس اندازهگیریهای واقعی تنظیم شوند.