متوقف کنید اتلاف گرما را: چرا بازتابندگان پوشیده شده با طلا واقعاً اهمیت دارند
هنگام فرآوری ویفرهای نیمههادی، هر وات انرژی اتلافشده در واقع به معنای اتلاف پول است؛ همچنین این امر باعث ایجاد مشکلات زیادی در خنککردن دستگاه میشود. به همین دلیل از بازتابندگان پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. هدف ساده است: میخواهیم تمام گرمای تولیدشده توسط دستگاه به ویفر برسد، نه اینکه به بدنه دستگاه منتقل شود و فقط باعث گرمتر شدن اتاق شود.
رساندن گرما به جای مناسب آن
بیشتر بازتابندگان استاندارد… قابل قبول هستند. اما آنها اجازه میدهند که مقدار زیادی انرژی مادونقرمز پراکنده شود یا توسط بدنه دستگاه جذب شود. ما این مشکل را با اضافه کردن لایه نازکی از طلا با خلوص بالا روی سطح بازتابنده، حل میکنیم. طلا در بازتاب نور مادونقرمز عملکرد فوقالعادهای دارد؛ در واقع، این کار باعث میشود که دستگاه گرمایشی شما از یک لامپ معمولی، به یک پرتو انرژی جهتدار تبدیل شود. متوجه خواهید شد که به سرعت به دمای مورد نظر میرسید. علاوه بر این، گرما در سراسر ویفر یکنواخت باقی میماند. این روش کارایی بیشتری دارد.
جنبههای فنی
معمولاً، این دستگاهها از لامپهای هالوژنی کوتاهموج برای تأمین انرژی استفاده میکنند. این لامپها مقدار زیادی انرژی را در فضای کوچکی ذخیره میکنند؛ این موضوع برای فضای مورد نیاز دستگاه مناسب است، اما میتواند بر سیستم الکترونیکی دستگاه تأثیر منفی داشته باشد. اگر قصد استفاده از دستگاههایی با توان بالا را دارید، حتماً سیمکشیهای خود را بررسی کنید؛ مطمئن شوید که کانکتورها بتوانند جریان الکتریکی را بدون مشکل تحمل کنند. یک نکته مهم: محل قرارگیری سنسورها را در نظر بگیرید؛ زیرا طلا گرما را به شدت متمرکز میکند؛ حتی کمی انحراف در محل قرارگیری سنسور میتواند باعث ایجاد نقاط گرم در ویفر شود. این موضوع جزئی به نظر میرسد، اما اهمیت زیادی دارد.
معایب (چون هیچ چیز کامل نیست)
طلا به دلایل خاصی بهترین گزینه است، اما این روش نیز بدون معایب نیست. این سطوح بسیار حساس هستند؛ چند اثر انگشت، کمی گرد و غبار یا بخارات شیمیایی میتواند باعث کاهش بازتابندگی آنها شود. وقتی این اتفاق بیفتد، گرمای تولیدشده نیز ناهموار خواهد بود. باید در تمیز کردن این سطوح دقت کنید؛ اگر فضای کاری شما بینظم باشد، کارایی دستگاه به سرعت کاهش خواهد یافت. حتماً مطمئن شوید که سیستم خنککننده دستگاه بتواند گرمای تولیدشده را کنترل کند.