Arrêter le cauchemar de la contamination des wafers
soyons honnêtes : quand une lampe explose au milieu d’un traitement à fort volume, cela représente bien plus qu’un simple arrêt de production. C’est une véritable catastrophe. Des éclats de verre et du gaz halogène se répandent sur les wafers, ce qui signifie que toute la série est gâchée. Il faut alors nettoyer complètement la chambre de traitement. C’est un désastre dont personne ne veut s’occuper.
C’est précisément pour cette raison que nous avons conçu nos systèmes IR de cette manière.
Le secret réside dans l’aluminium
Nous utilisons des réflecteurs en aluminium de haute pureté. Mais ils ne servent pas seulement à renvoyer la chaleur. Imaginez le réflecteur comme un bouclier. En plaçant la lampe à l’intérieur d’une coque en aluminium soigneusement conçue, nous créons en fait une zone de confinement. Si le tube se brise ou s’éteint, le réflecteur retient la plupart des débris. Ainsi, ces particules dangereuses ne peuvent pas atteindre la surface des wafers. Simple, mais efficace.
Gérer la chaleur
Les lampes à haute puissance exercent une grande pression sur tous les composants. Pour éviter qu’elles ne tombent en panne prématurément, nous prévoyons des espacements suffisants afin que le tube ne touche jamais les parois métalliques. Sinon, il y aura des points chauds, ce qui entraînera la rupture de la lampe. Nous polissons également l’aluminium jusqu’à obtenir une surface brillante comme un miroir. Cela permet une réflexion infrarouge beaucoup plus efficace, ce qui signifie que vous n’avez pas besoin d’utiliser autant de puissance pour atteindre les températures souhaitées. Moins de puissance, donc moins de pression sur l’enveloppe en quartz, ce qui maintient tout stable.
La réalité
Aucun système n’est parfait. Bien que le bouclier en aluminium permette de contenir les débris, il peut aussi retenir la chaleur autour des extrémités de la lampe. C’est là que l’on doit être prudent. Assurez-vous que votre système de refroidissement est adapté à la puissance utilisée ; sinon, vos prises électriques pourraient fondre. Si le flux d’air est insuffisant, peu importe la qualité du réflecteur : l’accumulation de chaleur finira par endommager la lampe.
Nous avons conçu ces unités pour qu’elles puissent être installées directement à la place de vos systèmes de chauffage existants. Vous bénéficierez ainsi d’un espace plus réduit, d’un sol plus sûr, et d’une pression moindre sur les composants.