Arrêter le chaos : lorsque les lampes infrarouges tombent en panne pendant le traitement des wafer Si vous avez déjà eu affaire à une lampe infrarouge qui tombe en panne lors d’un processus à forte charge, vous savez à quel point c’est désastreux. Il ne s’agit pas seulement de l’arrêt de la machine. Lorsque ces tubes en quartz explosent, ils projettent des éclats de verre et des substances chimiques sur les wafer. Un seul incident suffit pour détruire tout le produit obtenu. Pourquoi est-ce que ces lampes explosent ? Généralement, cela est dû à un choc thermique ou à une surtension électrique. Nous utilisons du quartz à paroi épaisse pour maintenir la stabilité des lampes, mais la physique fait toujours son œuvre. Si vous augmentez trop la puissance ou si vous ne laissez pas suffisamment d’espace entre les éléments, des points chauds se forment. Le verre devient alors fragile et finit par se briser. Comment éviter les éclats de verre ? Nous avons cessé de compter sur le verre pour résister aux pressions exercées sur lui. Au lieu de cela, nous utilisons une barrière physique – on peut penser à une sorte de gaine protectrice. Lorsqu’une lampe tombe en panne, cette gaine capture les éclats de verre. Les wafer restent ainsi propres. Nous avons également examiné attentivement les connexions. La plupart des fissures commencent justement aux extrémités des lampes, à cause des arcs électriques. Si les broches ne sont pas correctement positionnées, des pics de chaleur intensifs se produisent. Nous avons donc opté pour des contacts de précision afin d’éviter ces pics de chaleur avant même qu’ils ne se produisent. Les compromis à accepter Ajouter une gaine protectrice signifie bien sûr que la transmission des rayons infrarouges diminue légèrement. Vous ne pouvez pas obtenir 100 % de l’énergie initiale, car la gaine absorbe une petite partie des rayonnements. Ce n’est pas un problème majeur, mais il faudra probablement ajuster le temps de traitement ou augmenter légèrement la puissance pour que le processus se déroule correctement. Un dernier conseil: veillez bien sur vos ventilateurs de refroidissement. Si le boîtier devient trop chaud, la gaine protectrice peut se déformer. Et une gaine déformée ne permet pas de protéger efficacement les lampes. Assurez-vous que l’air circule bien, afin que le système reste stable.