שמירה על חדר נקי מסוג Class 100 נקי אכן
כשאתם עובדים בסביבה של חדר נקי מסוג Class 100, ה“יעילות” נדחקת לשוליים. הדבר היחיד שחשוב באמת הוא שליטה בחלקיקים.
הבעיה היא שרוב הנורות IR הרגילות יוצרות לכלוך – הן פולטות גזים או חלקיקים זעירים מהחלקים האלו. זה בלתי נראה, אך זה קיים. אנו מתמודדים עם זה על ידי שימוש בצינורות קוורץ באיכות גבוהה, בשילוב עם חלקים קרמיים מיוחדים.
למה החומרים חשובים?
רוב הגורמים שיוצרים קרינה IR משתמשים בחומרי הדבקה או פלסטיקים זולים בקצוות הצינורות. בחדר נקי בטמפרטורות גבוהות או בתנאי ואקום, חומרים אלו נהרסים. זו הסיבה שנוצרת זיהום על הוואפרים שלנו.
אנו משתמשים בקוורץ סינתטי באיכות גבוהה – הוא לא נהרס תחת לחץ תרמי ועמיד לחומרים כימיים. אך הסוד האמיתי נמצא בחלקים הקרמיים – אנו משתמשים בחומרים קרמיים עם אלומינה בריכוז גבוה, ללא שימוש בחומרי קשר מתכתיים. זה מונע את הלכלוך שנוצר בנורות זולות, ומבטיח שאין חומרים אורגניים שנפלטים כשהטמפרטורה עולה.
דברים שצריך לשים לב אליהם
הגורמים האלו יוצרים זרם חום עז מאוד. לכן, חייבים שהחיבורים שלהם יהיו מדויקים לחלוטין. אם הצינור זז אפילו במספר מילימטרים, ייווצר אזור חם על הוואפר. זו דרישה קפדנית, אך היא הכרחית.
טיפ נוסף לגבי מקור ההספק: הקוורץ באיכות גבוהה מתרחב בצורה מסוימת. אם מפעילים אותו במהירות, זה יגרום ללחץ על החיבור בין החומר הקרמי לקוורץ. יש להפעיל אותו באיטיות. החיבורים שלכם יודו לכם על כך.
הפעלת הגורמים האלו
אנו יוצרים אותם כתחליפים ישירים. צריך רק לחבר אותם למערכות הקיימות שלכם, ואז ניתן להשתמש בהם לפליטת קרינה בגלים קצרים.
מכיוון שאנו מוצאים את כל החומרים שגורמים לזיהום, תראו הרבה פחות חלקיקים בבדיקות השטח. זה אומר פחות זמן לניקיון ויותר זמן לייצור. רק ודאו שמאווררי הקירור שלכם חזקים מספיק כדי להתמודד עם החום שנוצר סביב החלקים הקרמיים.