תהליך האשכול – חימום באמצעות אינפראאדום

בחדר האשכולות, מתקבע הפרמטר התרמי הנדרש להסרת הפוטורזיסט. סטייה של חצי מעלה מהערך המיועד עלולה לגרום להיווצרות של שאריות – או, במקרה הגרוע יותר,...