בחדר האשכולות, מתקבע הפרמטר התרמי הנדרש להסרת הפוטורזיסט. סטייה של חצי מעלה מהערך המיועד עלולה לגרום להיווצרות של שאריות – או, במקרה הגרוע יותר, לפגיעה בשכבה שמתחת. ואם יש בעיה עם גליל אחד, כל התהליך עלול להידרדר. חימום באמצעות קרני אינפרא-אדום מאפשר שליטה מדויקת בפרמטרים התרמיים.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגופי פליטה של קרני אינפרא-אדום באורך גל קצר, כדי להעביר חום ישירות לשכבת הפוטורזיסט – במהירות, בצורה ישירה ובצורה צפויה. האחידות בטמפרטורה על פני כל הגלילים נשמרת בטווח של ±0.1°C. עיצוב גופי הפליטה אינו כולל קוורץ, כך שאין יצירה של חלקיקים – דבר שחיוני לחדרי עבודה מסוג Class 1–100. השגרתיות של התהליך נשמרת בטווח של ≤0.2%, בין אם התהליך מתבצע לאחר חימום רך, חימום קשה או תהליך חריטה.
למה זה עובד בייצור? בייצור, יש צורך שתהליך האשכולות יתנהל בקצב הייצור, מבלי ליצור פסולת. שליטה תרמית קפדנית מאפשרת שליטה טובה יותר בתהליך, מקצרת את זמן החימום ומפחיתה את צריכת האנרגיה. התוצאה היא פחות שאריות, צפיפות פגמים נמוכה יותר, ושליטה טובה יותר ברוחב השכבה לאחר החריטה. המערכת יכולה להתחבר לציוד הקיים מבלי צורך בשינויים בממשק התרמי, כך שניתן להקצר את זמן התהליך מבלי צורך בהשקעות גדולות.
על מה צריך לשים לב? חימום באמצעות קרני אינפרא-אדום דורש ראייה ישירה, כך שהבדלים בין צדדי הגלילים עלולים לפגוע ביכולת הספיגה של החום. אנו מתאימים את גודל גופי הפליטה ואת הספקטרום שלהם כדי לאזן את התגובה, אך עדיין חיוני שהחדר יאפשר ראייה חופשית לגלילים. יש לבצע ניסויים קצרים כדי לוודא שהתהליך יתנהל כראוי – לאחר מכן, התהליך יהיה תחת שליטה.