Perché passiamo all’uso del riscaldamento a raggi infrarossi per i carrelli utilizzati nei processi di lavorazione dei semiconduttori Quando si devono spostare wafer o componenti tra le diverse fasi della lavorazione, è fondamentale mantenere una temperatura costante. Per anni, la maggior parte di noi ha utilizzato metodi basati sulla circolazione dell’aria calda. Funzionava, certo… ma era un metodo lento. Ultimamente, stiamo optando per il riscaldamento a raggi infrarossi per questi sistemi di trasporto. Perché? Perché aspettare che l’aria si riscaldi rappresenta uno spreco di tempo per tutti.
I problemi legati all’uso dell’aria calda Bisogna comprendere come funziona la convezione: bisogna prima riscaldare l’aria, poi l’aria riscalda il carrello, e infine il carrello riscalda il substrato. È una reazione a catena. In una sala pulita, questo ritardo rappresenta davvero un ostacolo alla produttività. Il riscaldamento a raggi infrarossi elimina questo intermediario: utilizza onde elettromagnetiche per riscaldare direttamente il bersaglio. È quasi istantaneo. Si evita così lo spreco di tempo legato ai tempi di riscaldamento, e si può produrre di più ogni ora. È come accendere un interruttore, invece di aspettare che l’acqua bolla.
Vantaggi e svantaggi: riscaldamento a raggi infrarossi vs. aria forzata L’aria forzata richiede grandi impianti di ventilazione, condutture e numerosi filtri per evitare che particelle contaminino il processo di lavorazione. Occupa troppo spazio. I termosifoni a raggi infrarossi, invece, sono molto piccoli: possono essere inseriti facilmente nel telaio del carrello, senza necessità di impianti complessi. **Ma c’è un problema:**i raggi infrarossi richiedono che il bersaglio sia visibile direttamente. Se i componenti non sono disposti correttamente o se qualcosa ostruisce il percorso, si creano zone fredde. Non basta semplicemente posizionare delle lampade: bisogna scegliere con attenzione dove posizionarle. Di solito consigliamo l’uso di più lampade, per assicurarsi che il calore venga distribuito uniformemente.
Introdurre questi dispositivi nelle sale pulite Questi dispositivi vengono progettati per essere estremamente puliti. Poiché non ci sono ventilatori, non c’è aria turbolenta che possa sollevare polvere o particelle. I elementi riscaldanti vengono avvolti in quarzo o rivestiti con materiali speciali, in modo che nulla possa essere emesso nell’ambiente circostante. Un consiglio riguardo all’aspetto elettrico: bisogna fare attenzione al picco di corrente generato quando le lampade vengono accese. Le lampade a raggi infrarossi richiedono molta corrente all’avvio. Se il quadro elettrico è già sotto pressione, è possibile che i circuiti si spegnano proprio all’inizio del turno di lavoro. Per evitare questo problema, è meglio migliorare il quadro elettrico oppure programmare i cicli di riscaldamento in modo che non vengano attivati tutti nello stesso momento.