에너지 낭비를 막으세요: 웨이퍼를 더 효과적으로 가열하는 방법
만약 글로브박스 안에서 웨이퍼를 가열해본 적이 있다면, 그 곤란함을 잘 알고 있을 것입니다. IR 램프에 에너지를 공급하지만, 그 에너지의 절반은 챔버 벽에 부딪혀 사라집니다. 이는 엄청난 낭비입니다. 결국, 실제로 웨이퍼에 닿지도 않는 전기료를 지불하게 되는 셈입니다. 우리는 이러한 에너지 손실을 막을 방법을 찾아냈습니다. 열이 흩어지는 것을 막기 위해, 히터에 금으로 코팅된 반사체를 장착했습니다. 왜 금인가요? 금은 적외선을 반사하는 데 매우 효과적입니다. 약 98%의 적외선을 반사할 수 있죠. 고순도 금으로 히터의 내부를 덮음으로써, 광자들이 다시 웨이퍼 쪽으로 직접 전달되도록 합니다. 이렇게 하면 흩어진 열이 한점으로 모여서 집중된 빔이 됩니다. 따라서 전압을 높이거나 더 크고 무거운 램프를 사용할 필요가 없습니다. 하지만 한 가지 문제가 있습니다. 모든 에너지를 앞쪽으로 보내면, 램프의 석영 커버에 부담이 가합니다. 게다가 반사체가 몇 밀리미터만 비틀어져도, 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 그래서 우리는 성능을 최적화하기 위해 많은 시간을 들입니다. 항상 초점이 웨이퍼의 중심에 정확히 맞도록 해야 합니다. 또 한 가지, 냉각 시스템에도 주의해야 합니다. 열이 더 이상 히터의 뒷부분으로 들어가지 않으므로, 앞쪽의 부담이 커집니다. 글로브박스의 환기 시스템이 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 장비가 손상될 수 있습니다. 사용 방법 가장 좋은 점은 이 제품들이 기존 장비를 그대로 대체할 수 있다는 것입니다. 전체 장비를 새로 만들 필요가 없습니다. 또한 고온용 커넥터를 사용하기 때문에, 긴 가열 과정 동안 연결 부위가 산화되는 문제도 없습니다. 이제 모든 에너지를 효율적으로 활용할 수 있으므로, 더 작은 전력 공급 장치를 사용할 수도 있습니다. 혹은 가열 시간을 훨씬 줄일 수도 있습니다. 이렇게 하면 회로 차단기에 부담이 줄어들고, 웨이퍼를 훨씬 빠르게 가열할 수 있습니다.