웨이퍼의 오염을 사전에 막아야 합니다: IR 램프를 보다 효과적으로 관리하는 방법
반도체 공장에서 램프가 고장 나는 것은 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단뿐만 아니라, 유리 조각들과 화학물질들이 웨이퍼 위로 떨어지게 되어 웨이퍼가 망가집니다. 한 번만 고장 나도 전체 생산량이 낭비됩니다.
우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 많은 시간을 투자했습니다.
오염물질을 안쪽에 가두기
우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이는 급격한 가열 및 냉각에도 깨지지 않습니다. 하지만 그だけ으로는 충분하지 않았습니다. 우리는 램프 주위에 보호용 커버를 추가했습니다. 이는 마치 안전망과 같은 역할을 합니다. 필라멘트가 파손되거나 램프가 고장 나더라도, 파편들은 커버 안에 갇혀 있게 됩니다. 그래서 웨이퍼가 손상되는 것을 막을 수 있습니다.
열 문제 해결
램프를 최대한으로 작동시킬 때 문제가 발생합니다. 우리는 램프의 벽의 두께와 가스량을 신중하게 조절하여, 램프가 고열을 내더라도 구조적으로 안정적으로 유지되도록 했습니다. 석영이 견딜 수 있는 한계를 넘어서는 전력을 공급하지 않도록 주의합니다.
작지만 중요한 팁
우리는 표준화된 커넥터를 사용합니다. 연결부가 느슨하면 문제가 생깁니다. 느슨한 연결부는 아크 현상을 일으켜, 밀폐 부분에서 갑작스러운 고온이 발생합니다. 또한, 단단한 연결부는 진동時에 램프가 흔들리는 것을 막아주어 기계적 스트레스로 인한 파손을 방지합니다.
램프를 교체할 때는 간단히 교체하기만 하면 됩니다. 복잡한 절차는 필요 없습니다.
제발, 500시간마다 밀폐 상태를 확인해 주세요. 그러면 작은 균열들이 생산 중에 큰 문제로 변하기 전에 발견할 수 있습니다. 또한, 전압도 주의해서 확인하세요. 규정된 값을 준수하여 램프가 너무 빨리 고장 나는 것을 방지하세요.