Di dalam bilik pengolahan wafer yang bersih, bahan pembawa yang telah diproses secara basah tidak boleh membawa kelembapan masuk ke kawasan litografi. Sisa-sisa filem dan kesan air bukan sahaja mengurangkan kecekapan proses, tetapi juga memaksa proses pembaikan semula, sekaligus menambah beban pada proses pemanasan seterusnya. Pengering perlu memberikan hasil pengeringan yang konsisten, tanpa menambah zarah-zarah tertentu atau memberi tekanan terhadap bahan pembawa tersebut.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami membina pengering ini menggunakan kaedah pemanasan inframerah gelombang pendek (NIR). NIR dapat meresap terus ke dalam air dan lapisan filem yang tipis, sekaligus memungkinkan pengeringan tanpa memanaskan bahan pembawa tersebut secara berlebihan. Ini menyebabkan pengagihan haba yang seragam di seluruh permukaan bahan pembawa, sehingga suhu di kawasan kritikal dapat dikawal pada tahap ±0.1°C. Repeatabiliti yang tinggi dicapai melalui susunan lampu yang tepat serta sistem kawalan berulang-ulang; setiap kitaran akan mencapai suhu yang sama, sehingga kondisi pemanasan tidak berubah akibat variasi pengeringan. Sistem ini boleh beroperasi di bilik bersih kelas 1–100, dan direka untuk menghasilkan sifar zarah semasa operasi. Saluran ekzos juga telah disahkan untuk mencegah kemasukan semula zarah-zarah tersebut.
Mengapa ini penting dalam proses pengeluaran
Dalam proses pengeluaran, pengering ini membantu menghilangkan ketidakpastian semasa pemindahan bahan pembawa dari proses pembersihan ke proses litografi. Bahan photosensitive sangat sensitif terhadap perubahan suhu; oleh itu, walaupun adanya titik panas yang kecil pun boleh menyebabkan masalah pada ketepatan garisan yang dihasilkan. Dengan penggunaan medan haba yang seragam, bahan pembawa dapat dipelihara dalam keadaan suhu yang stabil. Ini seterusnya membolehkan kitaran pengeringan yang lebih cepat, penggunaan gas dan tenaga yang lebih sedikit, serta pengurangan bahan pembawa yang gagal kerana adanya kesan air. Modul ini direka untuk beroperasi 24 jam tanpa gangguan, dengan beban haba yang dapat diramalkan dan komponen lampu yang berkualiti tinggi. Dengan demikian, aliran kerja di kilang dapat berjalan lancar tanpa intervensi yang tidak dijangka.
Apa yang perlu diingat
Pengeringan menggunakan NIR memerlukan pandangan langsung antara sumber cahaya dan bahan pembawa. Oleh itu, geometri bahan pembawa dan jarak antara komponen-komponennya sangat penting. Kita perlu menentukan jarak dan orientasi komponen-komponen tersebut agar pengagihan haba tetap seragam. Jika jarak tersebut tidak dipatuhi, akan timbul bayangan-bayangan yang mengganggu proses pengeringan. Pemasangan memerlukan sistem elektrik dan saluran ekzos yang sesuai untuk bilik bersih. Selain itu, modul lampu juga mempunyai jangka hayat tertentu; oleh itu, gantian komponen tersebut perlu dilakukan secara berkala untuk memastikan prestasi yang konsisten.