Pemadam dan pengering pembawa wafer
Di dalam bilik pengolahan wafer yang bersih, bahan pembawa yang telah diproses secara basah tidak boleh membawa kelembapan masuk ke kawasan...
FOUP (Front Opening Unified Pod) – Pengering
Di bilik litografi ini, prosedurnya sudah jelas: FOUP dibawa masuk dalam keadaan basah setelah dicuci, dan masa untuk proses pemanasan pun sudah mula...