На производственном участке качество промывки напрямую зависит от качества последующей сушки. Отпечатки воды, разводы и остаточная влага после промывки существенно снижают качество продукции – особенно при толщине пленки менее 28 нм. Стандартные нагревательные устройства приводят к задержкам в процессе нагрева, а каждое движение устройства для нагрева способствует образованию частиц.
Быстрый фонарь для сушки после промывки позволяет эффективно и контролируемо закрыть этот цикл.
Что имеет значение внутри устройства
Мы использовали галогеновые излучатели коротковолнового инфракрасного излучения в кварцевом корпусе. Такой подход обеспечивает быстрый отклик устройства, а спектр излучения совпадает с диапазоном поглощения воды. Температурное равномерие по всей поверхности пластины составляет ±0,1°C, что сохраняет целостность фоторезиста во время последующих процедур нагрева.
Достижение стандартов чистой комнаты класса 1–100 возможно благодаря использованию материалов, не содержащих частиц, а также за счет наличия системы ламинарного потока воздуха. Рабочая мощность устройства остается стабильной в течение более 5 000 часов с допуском менее 5%, а параметры работы остаются неизменными день за днем без необходимости корректировки.
Почему это важно в производстве
Сразу после промывки фонарь сушит пластину размером 300 мм за считанные секунды, а не минуты. Это сокращает время обработки и помогает лучше контролировать качество продукции. Температурная стабильность снижает количество дефектов, связанных с изменениями температуры.
Кроме того, снижается расход энергии, поскольку галогеновые излучатели нагревают саму пленку, а не整个 устройство. Сокращается количество необходимых переработок, повышается надежность устройства, а параметры процесса остаются в пределах допусков.
Что необходимо учесть при планировании
Устройство может работать в совместности с системой SECS/GEM для обмена данными с контроллером. Однако для стабильной работы требуется отдельный источник питания и эффективная система вентиляции. Необходимо оставить зазор в 12 дюймов над пластиной, чтобы обеспечить ламинарный поток воздуха.
Настройка устройства занимает немного времени, но необходимо убедиться, что скорость передачи пластины соответствует скорости работы фонаря.