MEMS Wafer’lerini Doğru Şekilde Kurutmak
MEMS sensörü wafer’lerini kurutmak oldukça hassas bir işlemdir. Eğer termal kontrolü doğru şekilde yapmazsanız, yapışma veya yüzey gerilimi gibi sorunlar ortaya çıkarak sensörler bozulur. Bunu önlemek için kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz; böylece kalan sıvılar hızla buharlaştırılır. Amaç, bu hassas zarları hasar vermeden nemin giderilmesidir.
Enerji Miktarının Önemi
Isı akışı açısından, işi hızlıca tamamlamak için güçlü bir enerji kaynağı gereklidir. Sorun şu ki, eğer güç miktarı yetersizse kurutma süreci uzar ve su lekeleri oluşur. Ancak fazla güç kullanılırsa wafer deforme olur. Bu yüzden voltaj ve güç miktarını ayarlayarak ısının yüzeye eşit şekilde dağılmasını sağlıyoruz. Unutmayın ki, yüksek güçlü lambalar kullanıyorsanız, chasisin soğutma kapasitesinin yeterli olması gerekir; aksi takdirde aşırı ısı sorunları yaşanır.
Dayanıklı Malzemeler
Hızlı ısınma ve soğumaya dayanabilmeleri için yüksek saflıkta kuvars malzemeler kullanıyoruz. MEMS uygulamalarında genellikle lambalara kaplamalar ekliyoruz; bu sayede enerji doğrudan wafer’e yönlendirilir ve makinenin kendisi ısınmaz. Bir diğer ipucu ise konektörlere dikkat etmektir. Genellikle hatalar burada meydana gelir. Endüstriyel kalitede terminaller kullanıyoruz; çünkü zayıf bağlantılar lambaların zarar görmesine neden olur. Ayrıca, daha küçük boyutlarda lambalar kullanarak dar alanlarda daha fazla lamba yerleştirebilirsiniz.
Gerçek Dünyadaki Tercihler
Sadece bir düğmeye basıp en iyi sonucu bekleyemezsiniz. Bu cihazları PLC kontrollü sistemlere bağlıyoruz ki ısıyı yavaşça artırabilesiniz. Eğer aniden maksimum güçle ısı uygulanırsa termal şok riski ortaya çıkar. Ancak daha yüksek güç yoğunluğu, lambaların daha kısa ömürlü olmasına neden olur. Yani, kurutma hızını artırmak için lambaların ömründen fedakarlık yapmak zorunda kalırsınız. Bu yüzden düzenli olarak lambaların değiştirilmesini tavsiye ederim. Bir lambanın arızalanması ve tüm sensörlerin boşa gitmesinden kaçınmak için periyodik olarak lambaları değiştirmek daha ucuzdur. Ayrıca, izolasyonun da düzenli olarak kontrol edilmesi gerekiyor; çünkü sızıntı akımının wafer’e zarar vermesini istemezsiniz.