Як позбутися кошмару забруднення ваферів
Будемо чесними: коли лампа перегоряє під час роботи на повну потужність, це не просто невелика перерва у роботі. Це справжня катастрофа. Уламки скла та галогенний газ потрапляють на поверхню ваферів, що означає, що вся партія продукції стає непридатною для використання. Доводиться проводити повну очищення камери. Це справжній хаос, з яким ніхто не хоче мати справу.
Саме тому ми створили наші інфрачервоні системи саме так.
Секрет полягає у алюмінії
Ми використовуємо відбивачі з високочистого алюмінію, але вони не слугують лише для розсіювання тепла. Відбивач можна розглядати як захист. Розміщуючи лампу всередині точно спроєктованої алюмінієвої оболонки, ми фактично створюємо зону захисту. Якщо трубка лампи тріскається чи перегоряє, відбивач утримує більшу частину уламків. Це запобігає потраплянню цих шкідливих частинок на поверхню ваферів. Просто, але ефективно.
Керування теплом
Лампи високої потужності створюють величезний тиск на все навколо. Щоб уникнути їх передчасного зносу, ми залишаємо певні відстані, щоб трубка лампи ніколи не торкалася металевих стінок. Якщо вона все ж таки торкається їх, з’являються точки надмірного нагріву, що призводить до поломки лампи. Ми також поліруємо алюміній до дзеркального блиску. Це робить відбиття інфрачервоного світла значно ефективнішим, що означає, що не потрібно підвищувати потужність лампи для досягнення бажаної температури. Менша потужність означає менший тиск на кварцову оболонку, що сприяє стабільній роботі лампи.
Реальність
Жодна система не є ідеальною. Хоча алюмінієвий захист допомагає утримувати уламки, він може також збирати тепло біля кінців лампи. Тут потрібно бути обережним. Переконайтеся, що ваша система охолодження призначена для потужності вашої лампи – інакше її корпус може розплавитися. Якщо потік повітря занадто слабкий, незалежно від якості відбивача, накопичення тепла буде руйнувати лампу.
Ми розробили ці пристрої так, щоб вони могли замінити ваші існуючі системи опалення. Це дозволяє зменшити розміри пристрою, забезпечити кращу безпеку та зменшити навантаження на систему.