
别再让热量白白浪费在生物传感器晶圆上了
在对晶圆上的聚合物进行固化处理或激活催化剂时,精度至关重要。但问题在于:大多数装置都会存在能量泄漏的情况。如果灯光发出的热量被散射到机器的背面,而非直接照射到晶圆上,那相当于白白浪费了电费。
这时,涂有金膜的反射器就派上用场了。
金的妙处
想象一下普通的石英灯——它向各个方向辐射能量,即360度全方位辐射。在典型的制造环境中,有一半的能量会直接照射到设备外壳上,然后消失不见,这显然是一种浪费。
通过使用高纯度的金膜,我们可以将95%以上的红外光反射回去。我们并没有创造更多的能量,只是确保已支付的电能真正用于目标位置。
精确控制热量分布
在生物传感器制造中,热量密度非常重要。有了金膜之后,就不必增加功率就能让基材达到所需的温度。这对硬件来说也是一大好处:设备不会过热,热量分布也会更加均匀且可预测。
需要权衡的代价
当然,金并非万能的解决方案。它的成本非常高,远远高于铝。此外,金膜也比较娇贵。如果制造环境中有腐蚀性气体,金膜就容易出现凹痕或剥落。灰尘也是个问题——哪怕只有薄薄一层污垢或氧化层,都会降低反射率,从而导致晶圆上的加热不均。因此,必须保持这些表面的清洁。
不过,在那些对精度要求极高的应用场景中,没有别的办法了。如果你遇到“冷点”问题,或者升温过程过于缓慢,那么你可能并不需要更高的功率,只需要防止热量流失即可。