为何我们要改用红外线加热技术来为半导体处理设备供电
在将晶圆或组件从一个处理阶段转移到另一个阶段时，保持温度稳定至关重要。多年来，我们一直依赖热空气循环来实现这一目标。虽然这种方法确实有效，但效率较低。 最近，我们开始采用红外线加热技术来为这些处理设备供电。为什么呢？因为等待空气升温会浪费所有人的时间。
等待空气升温的弊端
想想对流原理吧：首先需要加热空气，然后空气再加热处理设备，最后处理设备再加热晶圆。这其实是一个连锁反应。在洁净室里，这种延迟无疑会降低生产效率。 而红外线加热则无需经过这个中间步骤。它可以直接利用电磁波来加热目标物体，几乎可以立即见效。这样就可以避免浪费时间在预热上，从而提高生产效率。这就像打开电灯一样简单，而不必等待水烧开。
红外线加热与强制空气加热的优缺点
强制空气加热系统结构复杂，需要鼓风机、通风管道以及大量的过滤器来防止灰尘进入系统。这会占用大量空间。相比之下，红外线加热装置体积很小，可以轻松安装在处理设备上，无需占用大量空间。 **不过，红外线加热也有其局限性。**它的加热效果依赖于视线方向。如果负载摆放不均匀，或者有东西阻挡了光线路径，那么某些区域就会变冷。因此，不能随便放置红外线灯，必须合理安排它们的位置。我们通常建议使用多个红外线灯，这样才能确保整个区域的温度均匀。
将红外线加热装置引入洁净室
我们设计的红外线加热装置具有极高的清洁度。由于没有风扇，因此不会产生气流，从而避免灰尘或颗粒物。此外，我们还会用石英材料包裹加热元件，或使用特殊涂层，以确保不会有任何有害物质释放到环境中。 关于电气方面的一个提示：要注意初始电流冲击的问题。高功率的红外线灯在启动时会消耗大量电流。如果电路已经处于极限状态，那么在开始工作时就可能会引发断路器跳闸。为了避免这种情况，要么升级断路器，要么错开加热装置的启动时间，避免同时启动所有设备。