왜 우리가 열공기 대신 디지털 적외선을 사용하는가? 일반적인 대류 오븐이 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 부품을 가열합니다. 이는 매우 느린 과정입니다. 반도체 가공 분야에서는 이러한 지연이 치명적입니다. 바로 이 지연 때문에 생...

제조 현장에서는, 세척기에서 나온 습식 처리된 웨이퍼 운반체가 리소그래피 공정으로 수분을 가져갈 수 없습니다. 잔여된 필름과 물자국들은 생산 효율을 떨어뜨릴 뿐만 아니라, 재작업을 유발하고 다음 가열 공정에서의 열적 부하를 증가시킵니다. 따라서 건조기는 입자를 추가하...

리소그래피 공정에서는 잘 알려진 원칙이 있습니다. 세척이 끝난 후 FOUP들은 젖은 상태로 들어오며, 시간도 계속 흘러갑니다. 만약 건조 과정에서 약간이라도 오차가 생기면, 포토레지스트가 제대로 경화되지 않고 표면에만 쌓이게 됩니다. 그러면 결함을 수정하는 데 시간이...