보호용 적외선 램프 설계를 통한 웨이퍼 오염 방지
혼란을 막는 방법: 웨이퍼 처리 과정에서 적외선 램프가 고장 날 때 고부하 상태에서 적외선 램프가 폭발하는 경험을 해본 적이 있다면, 그것이 얼마나 끔찍한 상황인지 잘 알 것입니다. 단순히 기계가 멈추는 문제가 아닙니다. 그 석영관들이 파손되면, 조용히 멈추는 것이...
바이오 센서 제조를 위한 안전하게 설계된 IR 램프를 활용한 웨이퍼 오염 방지
단 하나의 램프로 인해 생산량이 손실되는 것을 막아야 합니다. 바이오 센서 제작 과정에서 단 한 번의 고장만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 예를 들어, 고부하 상태에서 석영 튜브가 파손되면 웨이퍼들이 유리 조각과 화학 물질로 뒤덮이게 됩니다. 그러면 전체 생산...