CVD(화학기상증착) 히터

제조 현장에서는 챔버 내 온도의 변동이 금방 나타나며, 이는 웨이퍼의 두께 불균일성과 수율 저하로 이어집니다. 일단 그런 상황이 발생하면 더 이상 해결할 수 없습니다. 따라서 히터는 첫 번째 웨이퍼부터 마지막 웨이퍼까지 일정한 열 조건을 유지해야 합니다. 기술적으로...