반도체 처리 과정에서의 사이클 시간 단축 디지털 IR 제어와 열공기 순환 방식의 비교
왜 우리가 열공기 대신 디지털 적외선을 사용하는가? 일반적인 대류 오븐이 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 부품을 가열합니다. 이는 매우 느린 과정입니다. 반도체 가공 분야에서는 이러한 지연이 치명적입니다. 바로 이 지연 때문에 생...
반도체 클린룸의 처리 시간 단축 적외선 가열과 강제 공기 순환식 가열의 비교
왜 반도체 처리 과정에서 적외선 가열 방식을 사용하는가? 반도체 웨이퍼나 부품들을 여러 단계로 옮길 때는 온도를 일정하게 유지하는 것이 매우 중요합니다. 오랫동안 우리는 열공기 순환 방식을 사용해왔습니다. 물론 이 방식도 효과적이었지만, 속도가 너무 느렸습니다. 최근...