보호용 적외선 램프 설계를 통한 웨이퍼 오염 방지
혼란을 막는 방법: 웨이퍼 처리 과정에서 적외선 램프가 고장 날 때 고부하 상태에서 적외선 램프가 폭발하는 경험을 해본 적이 있다면, 그것이 얼마나 끔찍한 상황인지 잘 알 것입니다. 단순히 기계가 멈추는 문제가 아닙니다. 그 석영관들이 파손되면, 조용히 멈추는 것이...
바이오 센서 제조를 위한 안전하게 설계된 IR 램프를 활용한 웨이퍼 오염 방지
단 하나의 램프로 인해 생산량이 손실되는 것을 막아야 합니다. 바이오 센서 제작 과정에서 단 한 번의 고장만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 예를 들어, 고부하 상태에서 석영 튜브가 파손되면 웨이퍼들이 유리 조각과 화학 물질로 뒤덮이게 됩니다. 그러면 전체 생산...
팹 램프용 석영 유리 보호막
열을 다루는 방법: 왜 고성능 램프에는 석영 보호막이 필요한가?
스마트 팩토리를 운영한다면, 적외선 광원을 제대로 제어하는 것이 중요하다는 것을 알고 있을 것입니다. 고밀도 램프가 생산 라인의 다른 부분에 영향을 주지 않도록 하기 위해, 우리는 석영 유리로 만든 보호...
팹용 적외선 램프용 쿼츠 슬리브
제조 현장에서는, 포토레지스트를 가열할 때 단 0.5도만의 오차가 있어도 전체 제품이 폐기되는 결과를 초래할 수 있습니다. 빠른 반응 속도를 위해 단파 적외선을 사용하지만, 이는 램프의 출력이 일정하고 표면이 깨끗할 경우에만 가능합니다.
그래서 석영 슬리브는 단순한...