진공에도 사용 가능한 적외선 히터

클래스 100 청정실을 계속해서 깨끗하게 유지하는 방법 진공 챔버나 클래스 100 청정실에서 부품을 가열할 때, 아주 작은 먼지 한 알이나 화학물질만 있어도 전체 웨이퍼나 광학 코팅된 부품들이 망가질 수 있습니다. 일반적인 가열 요소들은 이러한 환경에 적합하지 않습니...