보호용 적외선 램프 설계를 통한 웨이퍼 오염 방지

혼란을 막는 방법: 웨이퍼 처리 과정에서 적외선 램프가 고장 날 때 고부하 상태에서 적외선 램프가 폭발하는 경험을 해본 적이 있다면, 그것이 얼마나 끔찍한 상황인지 잘 알 것입니다. 단순히 기계가 멈추는 문제가 아닙니다. 그 석영관들이 파손되면, 조용히 멈추는 것이...