停止加热空气，开始直接加热产品 如果打算建造现代化工厂，首先就要摒弃那些过时的加热方式。那些方法效率低下且操作繁琐。我们选择高效的红外线加热系统，因为它们能精确地将热量传递到需要的地方。 无需让整个房间都变热，只需对特定区域进行加热即可。这样不仅能减轻HVAC系统的负担，还能减少整体空间占用。 能...

为什么红外线比热风更适合作为晶圆加热方式 如果你仍然依赖热风循环来加热晶圆，那基本上你有一半的时间都在等待中度过。 这并不是因为“更好的设备”能解决问题，而是时间的问题。在深度加工过程中，空气其实是一种非常糟糕的传热介质。你不得不浪费数分钟的时间来等待空气将热量传递到晶圆上——而这样的时间损失在处...

在晶圆氧化过程中，温度波动不仅会体现在图表上的数值上，还会对产品良率产生严重影响。如果晶圆表面的某个点温度高出2°C，就可能导致阈值电压发生变化，从而让数周的调试工作前功尽弃。我们设计的晶圆氧化加热元件可以消除这种不确定性。 从技术角度看，什么才是关键？ 该加热元件是以石英为基材的，具有辐射特性，...