通过镀金反射器优化手套箱加热器的辐射能量密度
别再浪费电能了:更高效的晶圆加热方法 如果您曾经在手套箱内为晶圆加热,就一定知道那种令人沮丧的经历。您不断向红外灯供电,但其中一半的能量都被腔室壁反射掉了——这简直就是浪费。您支付的电费却并没有真正用于加热晶圆。 我们找到了解决这个问题的方法:我们不在让热量散失,而是将镀金反射器直接安装在加热装置...
利用镀金反射器最大化晶圆加热器中的辐射能量传递
停止浪费热量:为何镀金反射器如此重要 在处理半导体晶圆时,每浪费一瓦特的能量,就相当于白白浪费了金钱——同时还会给相关设备带来巨大的冷却难题。 这就是我们使用镀金反射器的原因。其目的很简单:让所有的热量都能直接作用于晶圆上,而不至于散失到机器的机壳中,从而避免让整个房间变得过于干燥和炎热。
让热量...