通过镀金反射器优化手套箱加热器的辐射能量密度

别再浪费电能了：更高效的晶圆加热方法 如果您曾经在手套箱内为晶圆加热，就一定知道那种令人沮丧的经历。您不断向红外灯供电，但其中一半的能量都被腔室壁反射掉了——这简直就是浪费。您支付的电费却并没有真正用于加热晶圆。 我们找到了解决这个问题的方法：我们不在让热量散失，而是将镀金反射器直接安装在加热装置...