适用于真空环境的红外加热器

如何确保100级洁净室始终处于清洁状态？ 如果您在真空室或100级洁净室内对工件进行加热，那么您应该很清楚其中的风险：哪怕只有一粒微小的灰尘或有害气体存在，整批的晶圆或光学涂层就会报废。 大多数普通的加热元件并不适合用于这种环境。它们会释放出粘合剂或氧化物，这就好比在手术室里撒上亮片一样糟糕。为了...