缩短半导体加工中的循环时间:数字红外控制与热风循环技术的对比
为什么我们要放弃传统热风加热方式,转而使用数字红外技术呢? 想想普通对流式烤箱的工作原理吧:首先需要加热空气,然后这些热空气再去加热被加工的部件。这个过程相当缓慢。在半导体加工领域,这样的延迟实在是致命的——它成了限制生产速度的瓶颈。 因此,我们选择了数字红外控制器。与依赖空气加热不同,红外技术直...
缩短半导体洁净室中的循环时间:红外加热与强制空气加热的比较
为何我们要改用红外线加热技术来为半导体处理设备供电 在将晶圆或组件从一个处理阶段转移到另一个阶段时,保持温度稳定至关重要。多年来,我们一直依赖热空气循环来实现这一目标。虽然这种方法确实有效,但效率较低。 最近,我们开始采用红外线加热技术来为这些处理设备供电。为什么呢?因为等待空气升温会浪费所有人的...