晶圆加热的安全距离

为什么红外线比热风更适合作为晶圆加热方式 如果你仍然依赖热风循环来加热晶圆，那基本上你有一半的时间都在等待中度过。 这并不是因为“更好的设备”能解决问题，而是时间的问题。在深度加工过程中，空气其实是一种非常糟糕的传热介质。你不得不浪费数分钟的时间来等待空气将热量传递到晶圆上——而这样的时间损失在处...