缩短半导体加工中的循环时间：数字红外控制与热风循环技术的对比

为什么我们要放弃传统热风加热方式，转而使用数字红外技术呢？ 想想普通对流式烤箱的工作原理吧：首先需要加热空气，然后这些热空气再去加热被加工的部件。这个过程相当缓慢。在半导体加工领域，这样的延迟实在是致命的——它成了限制生产速度的瓶颈。 因此，我们选择了数字红外控制器。与依赖空气加热不同，红外技术直...