标签为“温度”的页面如下 晶圆处理设备用温度传感器 防止灯泡损坏，避免毁掉你的晶圆 在那些需要大量处理晶圆的设备中，灯泡的损坏可不是小事——那简直就是一场灾难。当石英灯罩破裂时，玻璃碎片和蒸发的钨元素就会掉落在晶圆上，这无疑会导致整批晶圆报废。接下来还要进行繁琐的清洁工作，没人愿意在周末做这种事情。 应对高温问题 我们设计的红外线灯泡能够承受半导体... 阅读更多 高精度温度加热器 在晶圆厂车间，热偏差不会提前警告，而是表现为良率逐渐下降。光刻胶烘烤过程中温度漂移0.5°C就足以使关键尺寸控制超出规格。若热板温度不均匀，晶圆干燥后会出现水印。损失不仅仅是废品，还有生产计划延误。 技术重点 我们设计这些加热器时强调严格的温控：设定点稳定性±0.1°C，晶圆级均匀性。采用短波卤素... 阅读更多
晶圆处理设备用温度传感器 防止灯泡损坏，避免毁掉你的晶圆 在那些需要大量处理晶圆的设备中，灯泡的损坏可不是小事——那简直就是一场灾难。当石英灯罩破裂时，玻璃碎片和蒸发的钨元素就会掉落在晶圆上，这无疑会导致整批晶圆报废。接下来还要进行繁琐的清洁工作，没人愿意在周末做这种事情。 应对高温问题 我们设计的红外线灯泡能够承受半导体... 阅读更多
高精度温度加热器 在晶圆厂车间，热偏差不会提前警告，而是表现为良率逐渐下降。光刻胶烘烤过程中温度漂移0.5°C就足以使关键尺寸控制超出规格。若热板温度不均匀，晶圆干燥后会出现水印。损失不仅仅是废品，还有生产计划延误。 技术重点 我们设计这些加热器时强调严格的温控：设定点稳定性±0.1°C，晶圆级均匀性。采用短波卤素... 阅读更多
