标签为“真空”的页面如下 适用于真空环境的红外加热器 如何确保100级洁净室始终处于清洁状态？ 如果您在真空室或100级洁净室内对工件进行加热，那么您应该很清楚其中的风险：哪怕只有一粒微小的灰尘或有害气体存在，整批的晶圆或光学涂层就会报废。 大多数普通的加热元件并不适合用于这种环境。它们会释放出粘合剂或氧化物，这就好比在手术室里撒上亮片一样糟糕。为了... 阅读更多 真空室红外加热器 如何防止真空室中的加热器发生短路 在真空环境中使用红外线加热器时，容错率几乎为零。哪怕有一丝电弧或轻微的泄漏，都可能污染真空环境，或者损坏敏感的芯片。这简直就是一场噩梦。 我们设计的这些加热器能够承受极高的热量，但真正的挑战在于密封装置和石英外壳。通常，问题就出在这些地方。 为什么我们要对每只灯进... 阅读更多
适用于真空环境的红外加热器 如何确保100级洁净室始终处于清洁状态？ 如果您在真空室或100级洁净室内对工件进行加热，那么您应该很清楚其中的风险：哪怕只有一粒微小的灰尘或有害气体存在，整批的晶圆或光学涂层就会报废。 大多数普通的加热元件并不适合用于这种环境。它们会释放出粘合剂或氧化物，这就好比在手术室里撒上亮片一样糟糕。为了... 阅读更多
真空室红外加热器 如何防止真空室中的加热器发生短路 在真空环境中使用红外线加热器时，容错率几乎为零。哪怕有一丝电弧或轻微的泄漏，都可能污染真空环境，或者损坏敏感的芯片。这简直就是一场噩梦。 我们设计的这些加热器能够承受极高的热量，但真正的挑战在于密封装置和石英外壳。通常，问题就出在这些地方。 为什么我们要对每只灯进... 阅读更多
