通过特殊的红外灯设计来防止晶圆受到污染
防止故障:当晶圆加工过程中的红外灯出现故障时 如果你曾在高负荷运转期间遇到过红外灯爆炸的情况,那么你就会明白那有多糟糕了。问题不仅仅是机器停止运转这么简单。 当那些石英管破裂时,它们不会安静地失效,而是会爆炸,导致细小的玻璃碎片和化学物质溅到晶圆上。一旦发生这种情况,晶圆的合格率就会立刻下降。 为...
通过专为生物传感器制造而设计的安全红外灯 防止晶圆受到污染
别让一盏灯毁掉你的生产成果 在生物传感器制造过程中,哪怕出现一点点故障,都可能让整个生产过程失败。想象一下:在高温环境下,石英管突然破裂,于是芯片上就会布满玻璃碎片和化学残留物。这样一来,整批产品就都报废了。 我们花了大量时间来研究如何避免这种情况的发生。 保持玻璃的完整性 关键在于所使用的材料。...
用于光刻机的石英玻璃护罩
应对高温问题:为何智能制造设备需要石英防护罩 如果你使用的是智能制造设备,那么你肯定知道,要让红外光源正常工作其实只是一半的挑战而已。为避免那些高功率灯泡干扰整个生产流程,我们需要使用石英玻璃防护罩来隔离它们。
其实,石英防护罩并不仅仅是简单的覆盖物,它的作用是确保加热元件与被加工物体之间能够良好...
用于制造红外灯的石英套管
在光刻车间里,只要在光刻胶烘烤过程中出现半度的偏差,就可能导致整批产品报废。因此,人们会使用短波红外光来进行软烘烤和硬烘烤——因为这种光响应速度很快。不过,前提是灯光的输出必须保持稳定,同时设备内部也必须保持清洁。
正因如此,石英套管并非仅仅是简单的保护层而已。它实际上参与了热传导过程:它能够调节...