通过特殊的红外灯设计来防止晶圆受到污染

防止故障：当晶圆加工过程中的红外灯出现故障时 如果你曾在高负荷运转期间遇到过红外灯爆炸的情况，那么你就会明白那有多糟糕了。问题不仅仅是机器停止运转这么简单。 当那些石英管破裂时，它们不会安静地失效，而是会爆炸，导致细小的玻璃碎片和化学物质溅到晶圆上。一旦发生这种情况，晶圆的合格率就会立刻下降。 为...