利用镀金反射器最大化晶圆加热器中的辐射能量传递

停止浪费热量：为何镀金反射器如此重要 在处理半导体晶圆时，每浪费一瓦特的能量，就相当于白白浪费了金钱——同时还会给相关设备带来巨大的冷却难题。 这就是我们使用镀金反射器的原因。其目的很简单：让所有的热量都能直接作用于晶圆上，而不至于散失到机器的机壳中，从而避免让整个房间变得过于干燥和炎热。 让热量...