缩短半导体洁净室中的循环时间：红外加热与强制空气加热的比较

为何我们要改用红外线加热技术来为半导体处理设备供电 在将晶圆或组件从一个处理阶段转移到另一个阶段时，保持温度稳定至关重要。多年来，我们一直依赖热空气循环来实现这一目标。虽然这种方法确实有效，但效率较低。 最近，我们开始采用红外线加热技术来为这些处理设备供电。为什么呢？因为等待空气升温会浪费所有人的...