Ihren Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber halten
Wenn Sie ein Werkstück in einer Vakuumkammer oder in einem Reinraum der Klasse 100 erhitzen, kennen Sie das Problem: Schon eine kleine Staubpartikel oder ein chemisches Gas kann dazu führen, dass Ihre ganzen Wafern oder optischen Beschichtungen unbrauchbar werden.
Die meisten herkömmlichen Heizelemente eignen sich dafür nicht. Sie leiten Bindemittel aus oder oxidieren – das ist im Grunde genommen so, als würde man Glitzer in einen Operationssaal streuen. Wir lösen dieses Problem, indem wir hochreine synthetische Quarzlampen verwenden.
Der Kampf gegen das Ausgasen
Materialien sind hierbei entscheidend. Wir verwenden gefüllten Quarz, der frei von metallischen Verunreinigungen ist. Warum? Weil man nicht möchte, dass die Lampe bei Betriebstemperatur flüchtige organische Verbindungen freisetzt. Herkömmliches Glas würde unter solchem Druck einfach weich werden oder zerbrechen. Unser Quarz bleibt jedoch fest und klar – auch bei extrem hohen Temperaturen. Wir verwenden außerdem keine billigen Klebstoffe. Jede Verbindung wird entweder verschweißt oder mechanisch fixiert. Keine Klebstoffe, kein Ausgasen, keine beschädigten Komponenten.
Umgang mit dem Vakuum
Vakuumumgebungen sind schwierig, denn es gibt keinen Luftstrom, der die Wärme abführen könnte. Ohne konvektive Kühlung kann die Lampenhülle leicht überhitzen und zerbersten. Um das zu verhindern, verwenden wir Lampen mit hoher Dichte an Kurzwellenstrahlung. Das Ziel ist es, die Energie direkt auf das Zielobjekt zu richten – nicht die Wände des Raumes zu erhitzen.
Ein kleiner Tipp: Stellen Sie sicher, dass die Befestigungselemente aus Legieren mit geringer Dehnung bestehen. Wenn sie während der thermischen Belastung zu stark dehnen, können sie die Lampe beschädigen. Es handelt sich dabei um ein kleines Detail, das aber viel Ärger vermeiden kann.
In Betrieb nehmen
Wir liefern diese Lampen zusammen mit vakuumkompatiblen Anschlüssen, damit Ihnen die Arbeit erleichtert wird. Achten Sie beim Verbinden der Lampen darauf, den Drehmoment auf den Endkappen nicht zu übertreiben. Sie möchten zwar eine gute Vakuumdichtigkeit, aber wenn Sie zu stark drehen, belasten Sie den Quarz. Wenn Sie hohe Leistungen nutzen, überprüfen Sie unbedingt, ob die Kühlung tatsächlich die Wärme von den Lampenenden wegtransportieren kann.
Diese Lampen sind als Ersatz für Ihre aktuellen hochreinen Lampensysteme konzipiert. Ein letzter Tipp: Achten Sie während der ersten Inbetriebnahme auf die Leistungsfähigkeit Ihrer Vakuumpumpe. Die Anfangsphase kann anspruchsvoll sein – Sie sollten sicherstellen, dass Ihr System damit umgehen kann.