Comment sécher correctement les wafer de capteurs MEMS
Le séchage des wafer de capteurs MEMS est une opération délicate. Si le contrôle thermique n’est pas parfait, cela peut entraîner des problèmes liés à la tension superficielle ou à d’autres phénomènes qui endommagent les capteurs. Pour résoudre ce problème, nous utilisons des éléments de chauffage infrarouges afin d’évaporer rapidement tout liquide restant. L’objectif est d’éliminer l’humidité sans endommager ces membranes délicates.
Le défi lié à l’énergie nécessaire
Pour effectuer ce séchage rapidement, il faut une forte quantité d’énergie. Le problème est que si la puissance fournie est insuffisante, le processus de séchage prend du temps et des taches d’eau peuvent apparaître. Mais si la puissance est trop élevée, le wafer peut se déformer. Il s’agit donc d’un équilibre à trouver. Nous ajustons la tension et la puissance afin que la chaleur atteigne uniformément la surface du wafer. N’oubliez pas : si vous utilisez des tubes à haute puissance, il est essentiel que le système de refroidissement soit suffisamment efficace, sinon vous risquez de subir des pertes de chaleur excessives.
Des matériaux résistants
Nous utilisons des enveloppes en quartz de haute pureté, car elles peuvent supporter les variations de température sans se fissurer. Pour les capteurs MEMS, nous ajoutons souvent des revêtements sur les tubes. Cela permet de diriger l’énergie vers le wafer plutôt que de chauffer simplement le cadre de la machine. Un petit conseil : faites attention à vos connecteurs. Ce sont généralement là que les problèmes surviennent. Nous utilisons des terminaux de qualité industrielle, car une connexion défectueuse peut endommager les extrémités des lampes en quelques semaines. De plus, nous veillons à ce que la taille des connecteurs soit petite, afin de pouvoir placer plus de lampes dans une chambre de séchage compacte.
Les compromis dans la pratique
On ne peut pas simplement actionner un interrupteur et espérer le meilleur résultat. Nous connectons ces équipements à des systèmes contrôlés par PLC, afin de pouvoir augmenter progressivement la température. Si on utilise toute la puissance immédiatement, on risque de provoquer un choc thermique. Mais le problème est que plus la puissance est élevée, moins les lampes durent longtemps. En somme, on doit choisir entre la durée de vie de la lampe et la vitesse de séchage. C’est pourquoi je recommande de remplacer les lampes selon un calendrier précis. C’est bien moins cher que de devoir jeter toute une série de capteurs en cas de panne d’une lampe. De plus, vérifiez régulièrement l’isolation des équipements : vous ne voulez certainement pas que du courant parasite atteigne les wafer.