Comment tirer le meilleur parti du processus de durcissement des wafer
Lorsque l’on s’occupe du durcissement des wafer, il faut trouver un équilibre précis. Il est nécessaire d’éliminer les solvants ou de déclencher la réaction chimique appropriée. Mais on ne peut pas simplement augmenter la température, car cela risquerait de endommager le substrat.
C’est là que les réflecteurs entrent en jeu. Nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or, car nous ne voulons pas que l’énergie infrarouge s’échappe vers l’intérieur de la machine et soit gaspillée.
Pourquoi l’or ?
La plupart des gens commencent par utiliser de l’aluminium, mais cet matériau ne convient pas pour les ondes infrarouges de longue longueur d’onde. Il laisse trop de chaleur s’échapper. L’or, en revanche, est différent. En utilisant une couche d’or déposée par vide, nous pouvons renvoyer presque toute cette radiation infrarouge là où elle doit aller.
Cela permet de concentrer l’énergie. En somme, on obtient beaucoup plus d’efficacité par watt.
C’est toute une question de forme
La forme du réflecteur détermine comment la chaleur atteint le wafer. Une forme parabolique permet de concentrer le faisceau, tandis qu’une forme elliptique permet d’atteindre un point précis. Si les paramètres ne sont pas corrects, vous rencontrerez des problèmes : des zones surchauffées sur le wafer, ce qui signifie généralement un durcissement inégal. Pour éviter que l’énergie ne s’échappe, il est important que la lampe soit bien centrée par rapport à l’axe optique. La précision est donc essentielle.
Le problème
L’or est excellent pour transférer la chaleur, mais c’est un matériau fragile. Il ne résiste pas aux nettoyages agressifs. Si votre équipe utilise des produits chimiques aggressifs ou des disques abrasifs pour nettoyer le sol, la couche d’or sera abîmée. Une fois cela arrivé, l’efficacité diminue considérablement. Il faut donc traiter ces pièces avec soin. Un bouclier en quartz constitue généralement la meilleure solution.
Un conseil pour l’installation
Lorsque vous connectez ces systèmes, rappelez-vous que plus l’efficacité est élevée, plus le wafer absorbe d’énergie. Il peut être nécessaire de réduire la puissance ou d’accélérer le convoyeur afin d’éviter un durcissement excessif. N’oubliez pas non plus de protéger les équipements contre cette chaleur redirigée.