
गड़बड़ी को रोकना: जब वेफर प्रसंस्करण में आईआर लैंप खराब हो जाते हैं
यदि आपने कभी उच्च भार की स्थिति में आईआर लैंपों के खराब होने का अनुभव किया है, तो आप जानते ही होंगे कि यह कितनी बड़ी समस्या है। ऐसी स्थिति में मशीन बस रुक जाती ही नहीं… बल्कि क्वार्ट्ज ट्यूबें फट जाती हैं, जिससे वेफरों पर छोट-छोटे काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ गिर जाते हैं। ऐसी स्थिति में वेफरों की गुणवत्ता खराब हो जाती है। आखिर ऐसा क्यों होता है? आमतौर पर, ऐसा थर्मल शॉक या अचानक होने वाले विद्युत संकट के कारण होता है। हम चीजों को स्थिर रखने हेतु मोटी दीवार वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… लेकिन भौतिकी के नियम तो वैसे ही हैं। यदि वाटेज बहुत अधिक हो जाए, या पर्याप्त जगह न दी जाए, तो गर्मी के कारण क्वार्ट्ज कमजोर हो जाता है, और फिर वह टूट जाता है। हम टुकड़ों को कैसे रोकते हैं? हमने क्वार्ट्ज पर ही भरोसा करना बंद कर दिया… इसके बजाय हमने एक भौतिक बाधा लगाई… इसे सुरक्षात्मक कवर कहा जा सकता है। यदि लैंप खराब हो जाता है, तो यह कवर टुकड़ों को रोक लेता है… इससे वेफर साफ रहते हैं। हमने कनेक्टरों पर भी ध्यान दिया… अधिकांश दरारें वास्तव में कनेक्टरों के छोरों पर ही होती हैं… यदि कनेक्टर ठीक से फिट न हों, तो वहाँ तेज गर्मी पैदा हो जाती है… हमने ऐसी स्थितियों को रोकने हेतु सटीक रूप से फिट होने वाले कनेक्टरों का उपयोग किया। खामियाँ… कवर लगाने से आईआर विकिरण में थोड़ी कमी आ जाती है… क्योंकि कवर थोड़ा सा विकिरण अवशोषित कर लेता है… यह कोई बड़ी समस्या नहीं है… लेकिन आपको अपने प्रसंस्करण समय या बिजली की मात्रा में थोड़ा सा बदलाव करना होगा… एक और बात… अपने कूलिंग फैनों पर ध्यान दें… यदि हाउजिंग बहुत गर्म हो जाए, तो सुरक्षात्मक कवर भी टूट सकता है… ऐसी स्थिति में वेफरों की सुरक्षा नहीं हो पाती… हवा को लगातार चलने दें… ताकि सिस्टम स्थिर रहे।