クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
もし、真空チャンバーやクラス100のクリーンルーム内でワークピースを加熱する場合、ご存知の通り、ほんのわずかなほこりや化学ガスがあるだけで、作業したウェハーや光学コーティングはすべて無駄になってしまいます。
一般的な加熱素子では、このような状況に対応できません。それらは接着剤を漏らしたり酸化したりしてしまい、まるで手術室にきらきらした粒子を投げ込むようなものです。私たちは、高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用することでこれを解決しています。
ガス放出の防止
材料に関して言えば、金属不純物を取り除いた溶融石英を使用しています。なぜかというと、ランプが動作温度に達した時に、揮発性有機化合物が放出されないようにするためです。
普通のガラスでは、そのような高温下で柔らかくなったり割れたりしてしまいます。しかし、私たちの石英は、どんなに高温になっても硬く透明な状態を保ちます。また、安価な接着剤は一切使用しません。すべての接続部分は溶接または機械的に固定されており、接着剤やガスの放出、部品の損傷はありません。
真空環境への対処
真空環境では、熱を逃がす空気がないため、問題が生じやすいです。対流による冷却がないため、ランプの外装が過熱し、破裂してしまう可能性があります。
これを防ぐため、私たちは高密度の短波放射を発するランプを使用しています。目指すのは、エネルギーを目的の場所に当てることであり、チャンバーの壁を温めないことです。
ちなみに、取り付け用のブラケットは、膨張率の低い合金で作られていることが重要です。熱サイクルの際に過度に膨張すると、チューブが破断してしまう可能性があります。これは細かい点ですが、大変役立ちます。
実際に使用するための準備
私たちは、真空環境での使用に適したフィードスルーを同梱して送ります。配線する際は、エンドキャップのトルクに注意してください。しっかりと真空封止を行う必要がありますが、過度に力を加えると石英が損傷してしまいます。
高い出力を使用する場合は、冷却ジャケットがランプの端から熱を効果的に逃がせるかを確認してください。
これらのランプは、既存の高純度装置の代替品として設計されています。最後に、初めて電源を入れる際は、真空ポンプの能力を確認しておくことが重要です。初期の加熱段階では負荷が大きくなるため、システムがそれに耐えられるかを確認してください。