スマートファブで適切な加熱を実現するには？
現代のファブを構築する際、古くから使われてきたアナログ式の加熱装置ではもはや不十分だと気づいているはずです。データが必要ですし、精度も求められます。しかし何よりも大切なのは、オゾンの問題を気にしなくて済むことです。
問題点は、一般的な短波長のIRランプは185nmから254nmの範囲の光を放出するため、装置周辺の空気がオゾンを生成してしまうことです。これは半導体材料にとって悪影響を及ぼし、精密機器にとってはさらに深刻で、腐食が進んでしまいます。
これを解決するために、特定の吸収剤を備えた石英製のケースを使用しました。これにより、有害な波長の光を遮断できます。依然として強力な熱は得られますが、化学的な副作用はありません。つまり、酸化やクリーンルームの空気質の悪化を心配することなく、加熱要素を基板に近づけることができます。
テクノロジーと連携させる
スマートファブの性能は、フィードバックサイクルの良し悪しに左右されます。これらのIRシステムは単なる「単機能なヒーター」ではなく、デジタルシステムと連携して動作します。電流センサーやPIDコントローラーと接続することで、ラインの温度状況をリアルタイムで把握できます。PLCフレームワークに直接接続できるため、センサーの情報に基づいて即座に出力を調整できます。これはずっと直感的です。
熱に関する現実的な課題
ただし、高密度のIRアレイは急速に温度を上昇させます。しかし、その速さには多くの廃熱が伴います。硬化を加速するために高出力のシステムを使用する場合、HVACシステムを無視することはできません。冷却システムが適切に設計されていないと、周囲の熱が蓄積され、自動化センサーに悪影響を与えます。これはバランスを取る必要がある問題です。
メリット
最も良い点は、オゾンを発生させないIRを使用することで、施設運営が楽になることです。排気システム内の巨大でかさばるオゾン除去装置を不要にできます。加熱装置のサイズも小さくなり、空気も清潔に保たれます。また、中央監視装置を通じて、各ユニットあたりのエネルギー消費量を正確に把握できます。本当に便利です。