Op de productielijn is de kwaliteit van het afspoelen even belangrijk als de kwaliteit van het drogen. Watervlekken, strepen en restanten van vocht na het wassen kunnen de kwaliteit van het product snel verminderen – vooral bij een dikte van minder dan 28 nm. Gebruik je standaard warmtebronnen? Dan ontstaat er vertraging in de warmteoverdracht, en elke keer dat de draaimachine wordt bediend, ontstaan er nieuwe deeltjes.
Een snelle lampdroger na het afspoelen is de oplossing om dit probleem snel en effectief op te lossen.
Wat belangrijk is achter de schermen We hebben de lamp ontworpen met behulp van kortegolflange infraroodhalogeenemitters, die zich bevinden in een kwartsomhulsel. Hierdoor is de respons snel, en het spectrum valt precies binnen het absorptiegebied van water. De thermische uniformiteit op het oppervlak van de wafer blijft binnen ±0,1°C, waardoor de integriteit van de fotoresist behouden blijft wanneer de wafer vervolgens wordt verwerkt.
Een zuiverruimte van klasse 1–100 is mogelijk, omdat de hete zone wordt gevuld met materialen zonder deeltjes, en de unit zich bevindt onder een laminair luchtcircuit. De prestaties van de lamp blijven stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% afwijkingen. De instellingen van de lamp hoeven niet dagelijks aan te wordenangepast.
Waarom dit nuttig is in de productie Direct na het afspoelen droogt de lamp een 300mm grote wafer in slechts seconden, in plaats van minuten. Dit verkort de productietijd en zorgt voor betere controle over de kwaliteit van het product. De thermische consistentie zorgt er ook voor dat er minder fouten optreden door temperatuurschommelingen.
Ook de energieverbruik neemt af, omdat de SWIR-technologie de film rechtstreeks verwarmt, in plaats van de hele draaimachine. Er zijn minder herwerkingen nodig, de productiestroom blijft constant, en de procesparameters blijven binnen de gewenste grenzen.
Wat je moet voorbereiden De lamp kan worden geïntegreerd met SECS/GEM voor communicatie met de machine. Er is echter een aparte stroomvoorziening nodig, evenals een goed functionerend afvoersysteem om de temperatuur stabiel te houden. Houd er ook rekening mee dat er 12 inch ruimte boven het pad van de wafer moet zijn, zodat het laminaire luchtcircuit kan werken.
Het instellen van de lamp duurt niet lang, maar zorg ervoor dat de overgang van het afspoelen naar het drogen past bij de snelheid van de transportband.