Unikajcie uszkodzeń lamp, które mogą zniszczyć wasze płytki krzemowe
W urządzeniach do obróbki płytek krzemowych o dużej wydajności awaria lampy to coś znacznie poważniejszego niż zwykłe kłopoty lub krótki czas przerwy w pracach. To prawdziwy koszmar. Gdy pęknie szklana obudowa lampy, kawałki szkła oraz parujący wolfram spadają prosto na płytki krzemowe. To natychmiastowe zniszczenie całej partii produktów. A potem przychodzi najtrudniejsza część – czyszczenie całej komory. Nikt nie chce spędzać weekendu na tym zadaniu.
Radzenie sobie z ciepłem
Nasze lampy podczerwone są projektowane tak, aby wytrzymać ciągłe zmiany temperatury występujące w urządzeniach do obróbki półprzewodników. Najczęściej lampy psują się ze względu na nierównomierne rozszerzanie się szkła pod wpływem temperatury – po prostu szkło nie jest w stanie nadążyć za takimi zmianami. Aby temu zapobiec, używamy syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości. Jest on odporny na uszkodzenia i może przetrwać szybkie zmiany temperatury bez pęknięć. Ale to nie wszystko. Używamy również specjalnych osłon chroniących elementy lampy przed uszkodzeniami. Dzięki temu, nawet jeśli wewnętrzny żarnik pęknie, odłamki pozostaną wewnątrz, chroniąc tym samym produkty przed uszkodzeniami.
Równowaga między mocą a efektywnością
Lampy o dużej mocy zapewniają wystarczającą ilość ciepła do szybkiej obróbki płytek krzemowych, ale istnieje tu pewien kompromis. Zbyt duża moc w małej przestrzeni powoduje wzrost ciśnienia gazu halogenowego wewnątrz lampy. Jeśli wybierzemy lampę o zbyt wysokiej mocy dla danego systemu chłodzenia, obudowa lampy się przegrzeje i stanie się miękka. Wtedy rura zaczyna się wyginać, a w końcu pęka. Trzeba więc dostosować moc lampy do szybkości przepływu powietrza w urządzeniu. Jeśli powietrze nie przepływa wystarczająco szybko, lampa szybko się zepsuje. Proste, prawda?
Utrzymanie sprzętu w dobrym stanie
Małe szczegóły mają duże znaczenie. Używamy standardowych złącz, ponieważ luźne połączenia prowadzą do problemów. Luźne połączenia powodują tworzenie się gorących punktów, co jest przyczyną awarii lampy. Dobrym sposobem na uniknięcie tego jest sprawdzanie napięcia w kontaktech co 500 godzin. To zajmuje tylko minutę, ale oszczędza wiele godzin pracy przy późniejszym czyszczeniu. Jeszcze jedna rada: uważajcie na instalację elektryczną. Upewnijcie się, że elementy podtrzymujące nie wywierają żadnego mechanicznego nacisku na kwarc. Poddany takim obciążeniom kwarc może pęknąć. Uważajcie na dobrą geometrię połączeń i utrzymujcie stabilną temperaturę – wtedy lampy będą funkcjonować tak długo, jak powinny. Wasze płytki krzemowe będą wam za to wdzięczne.