半导体洁净室推车式加热器

如何避免半导体加工设备中的“过热问题”？ 有没有过因为触摸到运输车的表面而立刻缩回手的经历？那是因为传统加热元件会向四周散发热量。在洁净室里，这种情况简直就是噩梦。使用这种旧式的加热器时，热量会渗透到设备的结构中。 这不仅仅是操作员可能被烫伤的问题——虽然那已经很糟糕了。更令人担忧的是，这些积聚的...