دیگر انرژی خود را هدر ندهید: روش بهتری برای گرم کردن ویفرها اگر تا به حال سعی کردهاید ویفرها را در داخل جعبه مخصوص گرم کنید، میدانید که چقدر این کار آزاردهنده است. شما انرژی زیادی را به لامپهای مادون قرمز اختصاص میدهید، اما نیمی از این انرژی فقط از دیوارههای محفظه بازتاب میشود. این واقعاً هدررفت انرژی است. شما برای برقی پول میپردازید که حتی به سطح ویفر نمیرسد. ما راهی پیدا کردیم تا این هدررفت انرژی را متوقف کنیم. به جای اینکه اجازه دهیم گرما پراکنده شود، ما رفلکتورهایی با پوشش طلا را در داخل مجموعه گرمکن قرار دادیم. چرا طلا؟ مسئله فقط ظاهر نیست؛ طلا در بازتاب تشعشعات مادون قرمز عالی عمل میکند – تقریباً ۹۸ درصد از این تشعشعات را بازتاب میدهد. با استفاده از طلا در پشت محفظه، ما مجبور میکنیم فوتونها به سمت ویفر حرکت کنند. این کار باعث میشود که نور پراکنده شده، به یک پرتو منحصربهفرد تبدیل شود. شما میتوانید دمای سطح ویفر را به حد مورد نظر برسانید، بدون اینکه نیاز به افزایش ولتاژ یا خرید لامپهای بزرگتر داشته باشید. اما، یک مشکل وجود دارد… وقتی که تمام این انرژی به سمت جلو فرستاده میشود، شرایط دشوارتر میشود. پوشش کوارتزی لامپ نیز بیشتر تحت فشار قرار میگیرد. اگر رفلکتورها حتی چند میلیمتر از جای خود منحرف شوند، نقاط گرمی ایجاد میشود که میتواند ویفر را خراب کند. به همین دلیل، ما زمان زیادی را صرف تنظیمات دقیق میکنیم تا مطمئن شویم که نقطه تمرکز نور هر بار دقیقاً روی مرکز ویفر قرار بگیرد. یک نکته دیگر: به سیستم خنککننده خود توجه کنید. از آنجایی که گرما دیگر به پشت محفظه نمیرسد، بار حرارتی در قسمت جلویی بیشتر میشود. مطمئن شوید که سیستم تهویه جعبه مخصوص، این بار را مدیریت کند؛ در غیر این صورت، ممکن است ویفرها آسیب ببینند. نحوه استفاده نکته خوب این است که این قطعات میتوانند به عنوان جایگزین برای قطعات قبلی استفاده شوند. شما نیازی ندارید کل سیستم را دوباره ساختاربندی کنید. همچنین، ما از اتصالات با دمای بالا استفاده میکنیم؛ بنابراین نیازی نیست نگران اکسیداسیون پینها در طول چرخههای گرمایشی باشید. از آنجایی که شما اکنون از هر وات انرژی، بیشترین استفاده را میبرید، ممکن است بتوانید از منبع تغذیه کوچکتری استفاده کنید. یا حتی میتوانید زمان لازم برای گرم شدن ویفرها را کاهش دهید. این کار باعث میشود که سیستم شما کمتر تحت فشار قرار بگیرد، و ویفرها سریعتر به دمای مورد نظر برسند.